Technische Keramik
Laserbearbeitung wie Ritzen, Bohren und Schneiden von Keramiksubstraten.
96% bzw. 99% reines Aluminiumoxid / Al2O3 und Aluminiumnitrit / AlN haben wir in verschiedenen Stärken und Formaten auf Lager.
Gerne bearbeiten wir auch beigestelltes Material wie z.B. LTCC, DCB, Siliciumwafer, Zirkonoxid, Siliciumnitrit usw., gegebenenfalls führen wir auch Probeschnitte für Sie durch. Vorgefertigte, bedruckte, strukturierte oder bereits bestückte Substrate können wir im Einzelanschlag oder Anschlagsystem bearbeiten.
ESD-geeignete Arbeitsplätze zur Handhabung elektrostatisch gefährdeter Schaltungen sind vorhanden. Alle geritzten Substrate werden standardmäßig auf unserer Substratwaschanlage gereinigt und auf Kundenwunsch vereinzelt.
Quarzglas
Wegen seiner guten, thermischen Eigenschaften (extrem kleiner Längenausdehnungskoeffizient) lässt sich Quarzglas, im Gegensatz zu normalem Glas / Laborglas, sehr gut Laserbearbeiten. Der Laserschnitt erzeugt im Quarzglas eine fast perfekt feuerpolierte Schnittkante bei einem Schnittspalt von nur ~ 0,15 mm.
Ein Temperofen zum spannungsfrei Glühen sowie Polarimeter zur optischen Spannungsprüfung sind vorhanden.
Laserschneiden
Material
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maximale Materialdicke /
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Schneidbarkeit
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Schnittqualität
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Aluminiumoxid, Al2O3 |
2,0 mm |
Bohrungen ab d=0,15mm Ritzen/Scribing: Ritztiefe bis 1,0mm |
keine Muschelausbrüche, keine Risse kein Auswurf an den Einschußkratern |
Aluminiumnitrid AlN |
1,0 mm |
Bohrungen ab d=0,15mm Ritzen/Scribing: Ritztiefe bis 0,3mm |
keine Muschelausbrüche, keine Risse kein Auswurf an den Einschußkratern |
Quarzglas |
6,0 mm |
Bohrungen ab d=0,15mm |
Schnittkante glasig, durchsichtig, Kante wie flammpoliert. Kleiner Wulst (ca. 0,05mm hoch) an der Strahlaustrittseite, keine Muschelausbrüche |
Quarzglas – Rohre |
6,0 mm |
Rohre mit Durchmesser von 5 bis 300mm, Rohrlänge bis 2800mm |
Lagermaterial |
Dicke (mm)
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Format (mm)
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Al2O3 – 96% Dickschichtmaterial |
0,10 – 2 |
auf Anfrage |
Al2O3 – 99,6% Dickschichtmaterial |
0,25 – 1,52 |
auf Anfrage |
AlN |
0,25 – 1,27 |
auf Anfrage |
Quarzglas |
auf Anfrage |
auf Anfrage |